TY - RPRT TI - Miniaturization of Josephson junction for digital superconducting circuits AU - I. I. Soloviev AU - S. V. Bakurskiy AU - V. I. Ruzhickiy AU - N. V. Klenov AU - M. Yu. Kupriyanov AU - A. A. Golubov AU - O. V. Skryabina AU - V. S. Stolyarov PY - 2021 UR - https://arxiv.org/abs/2107.08711 ID - 2107.08711 ER -