TY  - RPRT
TI  - Fabrication and surface treatment of electron-beam evaporated niobium for low-loss coplanar waveguide resonators
AU  - D. Kowsari
AU  - K. Zheng
AU  - J. T. Monroe
AU  - N. J. Thobaben
AU  - X. Du
AU  - P. M. Harrington
AU  - E. A. Henriksen
AU  - D. S. Wisbey
AU  - K. W. Murch
PY  - 2021
DO  - 10.1063/5.0066441
UR  - https://arxiv.org/abs/2108.05354
ID  - 2108.05354
ER  -