TY  - RPRT
TI  - Direct atomic layer deposition of ultrathin aluminium oxide on monolayer $MoS_2$ exfoliated on gold: the role of the substrate
AU  - Emanuela Schilirò
AU  - Raffaella Lo Nigro
AU  - Salvatore E. Panasci
AU  - Simonpietro Agnello
AU  - Marco Cannas
AU  - Franco M. Gelardi
AU  - Fabrizio Roccaforte
AU  - Filippo Giannazzo
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2108.09542
ID  - 2108.09542
ER  -