TY  - RPRT
TI  - Uniform Spin Qubit Devices in an All-Silicon 300 mm Integrated Process
AU  - N. I. Dumoulin Stuyck
AU  - R. Li
AU  - C. Godfrin
AU  - A. Elsayed
AU  - S. Kubicek
AU  - J. Jussot
AU  - B. T. Chan
AU  - F. A. Mohiyaddin
AU  - M. Shehata
AU  - G. Simion
AU  - Y. Canvel
AU  - L. Goux
AU  - M. Heyns
AU  - B. Govoreanu
AU  - I. P. Radu
PY  - 2021
DO  - 10.23919/vlsicircuits52068.2021.9492427
UR  - https://arxiv.org/abs/2108.11317
ID  - 2108.11317
ER  -