TY  - RPRT
TI  - Very high frequency probes for atomic force microscopy with silicon optomechanics
AU  - L Schwab
AU  - P Allain
AU  - N Mauran
AU  - X Dollat
AU  - L Mazenq
AU  - D Lagrange
AU  - M Gély
AU  - S Hentz
AU  - G Jourdan
AU  - I Favero
AU  - B Legrand
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2109.02478
ID  - 2109.02478
ER  -