TY - RPRT TI - A CMOS compatible platform for high impedance superconducting quantum circuits AU - Kazi Rafsanjani Amin AU - Carine Ladner AU - Guillaume Jourdan AU - Sebastien Hentz AU - Nicolas Roch AU - Julien Renard PY - 2021 DO - 10.1063/5.0086019 UR - https://arxiv.org/abs/2109.06491 ID - 2109.06491 ER -