TY  - RPRT
TI  - Mitigation of substrate coupling effects in RF switch by localized substrate removal using laser processing
AU  - Arun Bhaskar
AU  - Justine Philippe
AU  - Etienne Okada
AU  - Flavie Braud
AU  - Jean-François Robillard
AU  - Cédric Durand
AU  - Frédéric Gianesello
AU  - Daniel Gloria
AU  - Christophe Gaquière
AU  - Emmanuel Dubois
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2109.09452
ID  - 2109.09452
ER  -