TY  - RPRT
TI  - Surface chemistry models for GaAs epitaxial growth and hydride cracking using reacting flow simulations
AU  - Malik Hassanaly
AU  - Hariswaran Sitaraman
AU  - Kevin L. Schulte
AU  - Aaron J. Ptak
AU  - John Simon
AU  - Kevin Udwary
AU  - Jacob H. Leach
AU  - Heather Splawn
PY  - 2021
DO  - 10.1063/5.0061222
UR  - https://arxiv.org/abs/2109.11540
ID  - 2109.11540
ER  -