TY - RPRT TI - Chlorine doping of MoSe2 flakes by ion implantation AU - Slawomir Prucnal AU - Arsalan Hashemi AU - Mahdi Ghorbani-Asl AU - René Hübner AU - Juanmei Duan AU - Yidan Wei AU - Divanshu Sharma AU - Dietrich R. T. Zahn AU - René Ziegenrücker AU - Ulrich Kentsch AU - Arkady V. Krasheninnikov AU - Manfred Helm AU - Shengqiang Zhou PY - 2021 DO - 10.1039/d0nr08935d UR - https://arxiv.org/abs/2109.11880 ID - 2109.11880 ER -