TY  - RPRT
TI  - Super-Resolution Nanolithography of Two-Dimensional Materials by Anisotropic Etching
AU  - Dorte R. Danielsen
AU  - Anton Lyksborg-Andersen
AU  - Kirstine E. S. Nielsen
AU  - Bjarke S. Jessen
AU  - Timothy J. Booth
AU  - Manh-Ha Doan
AU  - Yingqiu Zhou
AU  - Peter Bøggild
AU  - Lene Gammelgaard
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acsami.1c09923
UR  - https://arxiv.org/abs/2110.03499
ID  - 2110.03499
ER  -