TY  - RPRT
TI  - Hydrogenated Amorphous Silicon Carbide: A Low-loss Deposited Dielectric for Microwave to Submillimeter Wave Superconducting Circuits
AU  - B. T. Buijtendorp
AU  - S. Vollebregt
AU  - K. Karatsu
AU  - D. J. Thoen
AU  - V. Murugesan
AU  - K. Kouwenhoven
AU  - S. Hähnle
AU  - J. J. A. Baselmans
AU  - A. Endo
PY  - 2021
DO  - 10.1103/physrevapplied.18.064003
UR  - https://arxiv.org/abs/2110.03500
ID  - 2110.03500
ER  -