TY  - RPRT
TI  - $\textit{Ab initio}$-guided X-ray photoelectron spectroscopy quantification of Ti vacancies in Ti$_{1-δ}$O$_x$N$_{1-x}$ thin films
AU  - Pavel Ondračka
AU  - Marcus Hans
AU  - Damian M. Holzapfel
AU  - Daniel Primetzhofer
AU  - David Holec
AU  - Jochen M. Schneider
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2110.03981
ID  - 2110.03981
ER  -