TY  - RPRT
TI  - A synchrotron-based kilowatt-level radiation source for EUV lithograph
AU  - Bocheng Jiang
AU  - Chao Feng
AU  - Changliang Li
AU  - Zhenghe Bai
AU  - Weishi Wan
AU  - Dao Xiang
AU  - Qiang Gu
AU  - Kun Wang
AU  - Qinglei Zhang
AU  - Dazhang Huang
AU  - Senyu Chen
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2110.08987
ID  - 2110.08987
ER  -