TY  - RPRT
TI  - Room-temperature silicon platform for GHz-frequency nano-electro-opto-mechanical systems
AU  - D. Navarro-Urrios
AU  - M. F. Colombano
AU  - G. Arregui
AU  - G. Madiot
AU  - A. Pitanti
AU  - A. Griol
AU  - T. Makkonen
AU  - J. Ahopelto
AU  - C. M. Sotomayor-Torres
AU  - A. Martínez
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2110.09178
ID  - 2110.09178
ER  -