TY  - RPRT
TI  - Spatially-Modulated Silicon Interface Energetics via Hydrogen Plasma-Assisted Atomic Layer Deposition of Ultrathin Alumina
AU  - Alex Henning
AU  - Johannes D. Bartl
AU  - Lukas Wolz
AU  - Maximilian Christis
AU  - Felix Rauh
AU  - Michele Bissolo
AU  - Theresa Grünleitner
AU  - Johanna Eichhorn
AU  - Patrick Zeller
AU  - Matteo Amati
AU  - Luca Gregoratti
AU  - Jonathan J. Finley
AU  - Bernhard Rieger
AU  - Martin Stutzmann
AU  - Ian D. Sharp
PY  - 2022
DO  - 10.48550/arxiv.2111.00054
UR  - https://arxiv.org/abs/2111.00054
ID  - 2111.00054
ER  -