TY  - RPRT
TI  - Solid Phase Recrystallization and Dopant Activation in Arsenic Ion-Implanted Silicon-On-Insulator by UV Laser Annealing
AU  - Toshiyuki Tabata
AU  - Fabien Rozé
AU  - Pablo Acosta Alba
AU  - Sébastien Halty
AU  - Pierre-Edouard Raynal
AU  - Imen Karmous
AU  - Sébastien Kerdilès
AU  - Fulvio Mazzamuto
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2111.07577
ID  - 2111.07577
ER  -