TY  - RPRT
TI  - Sub-10 nm precision engineering of solid-state defects via nanoscale aperture array mask
AU  - Tae-yeon Hwang
AU  - Junghyun Lee
AU  - Seong-Woo Jeon
AU  - Yong-Su Kim
AU  - Young-Wook Cho
AU  - Hyang-Tag Lim
AU  - Sung Moon
AU  - Sang-Wook Han
AU  - Yong-Ho Choa
AU  - Hojoong Jung
PY  - 2021
DO  - 10.1021/acs.nanolett.1c04699
UR  - https://arxiv.org/abs/2112.00943
ID  - 2112.00943
ER  -