TY  - RPRT
TI  - Observation of Silicon Nitride Nanomechanical Resonator Actuation Using Capacitive Substrate Excitation
AU  - Gengyang Mu
AU  - Nikaya Snell
AU  - Chang Zhang
AU  - Xitong Xie
AU  - Radin Tahvildari
AU  - Arnaud Weck
AU  - Michel Godin
AU  - Raphael St-Gelais
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2112.09303
ID  - 2112.09303
ER  -