TY - RPRT TI - MEMS-tunable dielectric metasurface lens using thin-film PZT for large displacements at low voltages AU - Christopher A. Dirdal AU - Paul C. V. Thrane AU - Firehun T. Dullo AU - Jo Gjessing AU - Anand Summanwar AU - Jon Tschudi PY - 2021 DO - 10.1364/ol.451750 UR - https://arxiv.org/abs/2112.10130 ID - 2112.10130 ER -