TY  - RPRT
TI  - Enchanced reflectance SiN$_x$ / SiO$_x$ DBR mirror based on TEOS precursor fabricated by PECVD method
AU  - I. M. Asharchuk
AU  - M. V. Shibalov
AU  - A. M. Mumlyakov
AU  - P. A. Nekludova
AU  - G. D. Diudbin
AU  - E. V. Zenova
AU  - N. V. Minaev
AU  - A. A. Pavlov
AU  - M. A. Tarkhov
PY  - 2021
UR  - https://arxiv.org/abs/2112.12525
ID  - 2112.12525
ER  -