TY - RPRT TI - Coulomb actuated microbeams: A Chebyshev-Edgeworth approach to highly efficient lumped parameter models AU - Hermann A. G. Schenk AU - Anton Melnikov AU - Franziska Wall AU - Matthieu Gaudet AU - Michael Stolz AU - David Schuffenhauer AU - Bert Kaiser PY - 2022 UR - https://arxiv.org/abs/2201.01627 ID - 2201.01627 ER -