TY  - RPRT
TI  - Scalable CMOS-BEOL compatible AlScN/2D Channel FE-FETs
AU  - Kwan-Ho Kim
AU  - Seyong Oh
AU  - Merrilyn Mercy Adzo Fiagbenu
AU  - Jeffrey Zheng
AU  - Pariasadat Musavigharavi
AU  - Pawan Kumar
AU  - Nicholas Trainor
AU  - Areej Aljarb
AU  - Yi Wan
AU  - Hyong Min Kim
AU  - Keshava Katti
AU  - Zichen Tang
AU  - Vincent C. Tung
AU  - Joan Redwing
AU  - Eric A. Stach
AU  - Roy H. Olsson III
AU  - Deep Jariwala
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.02153
ID  - 2201.02153
ER  -