TY  - RPRT
TI  - Scalable production of single 2D van der Waals layers through atomic layer deposition: Bilayer silica on metal foils and films
AU  - Gregory S. Hutchings
AU  - Xin Shen
AU  - Chao Zhou
AU  - Petr Dementyev
AU  - Daniil Naberezhnyi
AU  - Inga Ennen
AU  - Andreas Hütten
AU  - Nassar Doudin
AU  - Jesse Hsu
AU  - Zachary S. Fishman
AU  - Udo D. Schwarz
AU  - Shu Hu
AU  - Eric I. Altman
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.04483
ID  - 2201.04483
ER  -