TY  - RPRT
TI  - Qubit-compatible substrates with superconducting through-silicon vias
AU  - K. Grigoras
AU  - N. Yurttagül
AU  - J. -P. Kaikkonen
AU  - E. T. Mannila
AU  - P. Eskelinen
AU  - D. P. Lozano
AU  - H. -X. Li
AU  - M. Rommel
AU  - D. Shiri
AU  - N. Tiencken
AU  - S. Simbierowicz
AU  - A. Ronzani
AU  - J. Hätinen
AU  - D. Datta
AU  - V. Vesterinen
AU  - L. Grönberg
AU  - J. Biznárová
AU  - A. Fadavi Roudsari
AU  - S. Kosen
AU  - A. Osman
AU  - M. Prunnila
AU  - J. Hassel
AU  - J. Bylander
AU  - J. Govenius
PY  - 2022
DO  - 10.1109/tqe.2022.3209881
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.10425
ID  - 2201.10425
ER  -