TY  - RPRT
TI  - Near-Surface Electrical Characterisation of Silicon Electronic Devices Using Focused keV Ions
AU  - Simon G. Robson
AU  - Paul Räcke
AU  - Alexander M. Jakob
AU  - Nicholas Collins
AU  - Hannes R. Firgau
AU  - Vivien Schmitt
AU  - Vincent Mourik
AU  - Andrea Morello
AU  - Edwin Mayes
AU  - Daniel Spemann
AU  - David N. Jamieson
PY  - 2022
DO  - 10.1103/physrevapplied.18.034037
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.11339
ID  - 2201.11339
ER  -