TY  - RPRT
TI  - Reaction pathways of BCl$_3$ for acceptor delta-doping of silicon
AU  - Quinn Campbell
AU  - Kevin J. Dwyer
AU  - Sungha Baek
AU  - Andrew D. Baczewski
AU  - Robert E. Butera
AU  - Shashank Misra
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.11682
ID  - 2201.11682
ER  -