TY  - RPRT
TI  - Piezo-optomechanical cantilever modulators for VLSI visible photonics
AU  - Mark Dong
AU  - David Heim
AU  - Alex Witte
AU  - Genevieve Clark
AU  - Andrew J. Leenheer
AU  - Daniel Dominguez
AU  - Matthew Zimmermann
AU  - Y. Henry Wen
AU  - Gerald Gilbert
AU  - Dirk Englund
AU  - Matt Eichenfield
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0088424
UR  - https://arxiv.org/abs/2201.12447
ID  - 2201.12447
ER  -