TY  - RPRT
TI  - Measurement and simulation of mechanical and optical properties of sputtered amorphous SiC coatings
AU  - G. Favaro
AU  - A. Amato
AU  - F. Arciprete
AU  - M. Bazzan
AU  - E. Cesarini
AU  - F. De Matteis
AU  - T. H. Dao
AU  - M. Granata
AU  - C. Honrado-Benítez
AU  - N. Gutiérrez-Luna
AU  - J. I. Larruquert
AU  - G. Lorenzin
AU  - D. Lumaca
AU  - G. Maggioni
AU  - M. Magnozzi
AU  - E. Placidi
AU  - P. Prosposito
AU  - F. Puosi
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2202.04458
ID  - 2202.04458
ER  -