TY  - RPRT
TI  - Closed-Loop MOEMS Accelerometer
AU  - Majid Taghavi
AU  - Abolfazl Abedi
AU  - Gholam-Mohammad Parsanasab
AU  - Mojtaba Rahimi
AU  - Mohammad Noori
AU  - Hamzeh Nourolahi
AU  - hamid latifi
PY  - 2022
DO  - 10.1364/oe.455772
UR  - https://arxiv.org/abs/2202.05153
ID  - 2202.05153
ER  -