TY  - RPRT
TI  - Towards controllable Si-doping in oxide molecular beam epitaxy using a solid SiO source: Application to $β$-Ga2O3
AU  - A. Ardenghi
AU  - O. Bierwagen
AU  - A. Falkenstein
AU  - G. Hoffmann
AU  - J. Lähnemann
AU  - M. Martin
AU  - P. Mazzolini
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0087987
UR  - https://arxiv.org/abs/2202.05762
ID  - 2202.05762
ER  -