TY  - RPRT
TI  - Optical characterization of deuterated silicon-rich nitride waveguides
AU  - Xavier X. Chia
AU  - George F. R. Chen
AU  - Yanmei Cao
AU  - Peng Xing
AU  - Doris K. T. Ng
AU  - Dawn T. H. Tan
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2202.10023
ID  - 2202.10023
ER  -