TY  - RPRT
TI  - Scaled indium oxide transistors fabricated using atomic layer deposition
AU  - Mengwei Si
AU  - Zehao Lin
AU  - Zhizhong Chen
AU  - Xing Sun
AU  - Haiyan Wang
AU  - Peide D. Ye
PY  - 2022
DO  - 10.1038/s41928-022-00718-w
UR  - https://arxiv.org/abs/2203.02869
ID  - 2203.02869
ER  -