TY  - RPRT
TI  - Nanoscale Fabrication of Graphene by Hydrogen-Plasma Etching
AU  - Takamoto Yokosawa
AU  - Masahiro Kamada
AU  - Taisuke Ochi
AU  - Yuki Koga
AU  - Rin Takehara
AU  - Masahiro Hara
AU  - Tomohiro Matsui
PY  - 2022
DO  - 10.1380/ejssnt.2022-022
UR  - https://arxiv.org/abs/2203.05155
ID  - 2203.05155
ER  -