TY  - RPRT
TI  - Self-aligned patterning technique for fabricating high-performance diamond sensor arrays with nanoscale precision
AU  - Mengqi Wang
AU  - Haoyu Sun
AU  - Xiangyu Ye
AU  - Pei Yu
AU  - Hangyu Liu
AU  - Jingwei Zhou
AU  - Pengfei Wang
AU  - Fazhan Shi
AU  - Ya Wang
AU  - Jiangfeng Du
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2203.09320
ID  - 2203.09320
ER  -