TY - RPRT TI - Monolithically integrated, broadband, high-efficiency silicon nitride-on-silicon waveguide photodetectors in a visible-light integrated photonics platform AU - Yiding Lin AU - Zheng Yong AU - Xianshu Luo AU - Saeed Sharif Azadeh AU - Jared Mikkelsen AU - Ankita Sharma AU - Hong Chen AU - Jason C. C. Mak AU - Patrick G. -Q. Lo AU - Wesley D. Sacher AU - Joyce K. S. Poon PY - 2022 DO - 10.1038/s41467-022-34100-3 UR - https://arxiv.org/abs/2203.11775 ID - 2203.11775 ER -