TY - RPRT TI - Defect engineering of silicon with ion pulses from laser acceleration AU - Walid Redjem AU - Ariel J. Amsellem AU - Frances I. Allen AU - Gabriele Benndorf AU - Jianhui Bin AU - Stepan Bulanov AU - Eric Esarey AU - Leonard C. Feldman AU - Javier Ferrer Fernandez AU - Javier Garcia Lopez AU - Laura Geulig AU - Cameron R. Geddes AU - Hussein Hijazi AU - Qing Ji AU - Vsevolod Ivanov AU - Boubacar Kante AU - Anthony Gonsalves AU - Jan Meijer AU - Kei Nakamura AU - Arun Persaud AU - Ian Pong AU - Lieselotte Obst-Huebl AU - Peter A. Seidl AU - Jacopo Simoni AU - Carl Schroeder AU - Sven Steinke AU - Liang Z. Tan AU - Ralf Wunderlich AU - Brian Wynne AU - Thomas Schenkel PY - 2022 UR - https://arxiv.org/abs/2203.13781 ID - 2203.13781 ER -