TY  - RPRT
TI  - SOI-based micro-mechanical terahertz detector operating at room-temperature
AU  - K. Froberger
AU  - B. Walter
AU  - M. Lavancier
AU  - R. Peretti
AU  - G. Ducournau
AU  - J-F. Lampin
AU  - M. Faucher
AU  - S. Barbieri
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0095126
UR  - https://arxiv.org/abs/2204.03970
ID  - 2204.03970
ER  -