TY  - RPRT
TI  - Solid Phase Recrystallization in Arsenic Ion-Implanted Silicon-On-Insulator by Microsecond UV Laser Annealing
AU  - Toshiyuki Tabata
AU  - Fabien Rozé
AU  - Pablo Acosta Alba
AU  - Sebastien Halty
AU  - Pierre-Edouard Raynal
AU  - Imen Karmous
AU  - Sébastien Kerdilés
AU  - Fulvio Mazzamuto
PY  - 2022
DO  - 10.1109/jeds.2021.3131911
UR  - https://arxiv.org/abs/2204.12167
ID  - 2204.12167
ER  -