TY  - RPRT
TI  - Wafer-scale nanofabrication of telecom single-photon emitters in silicon
AU  - M. Hollenbach
AU  - N. Klingner
AU  - N. S. Jagtap
AU  - L. Bischoff
AU  - C. Fowley
AU  - U. Kentsch
AU  - G. Hlawacek
AU  - A. Erbe
AU  - N. V. Abrosimov
AU  - M. Helm
AU  - Y. Berencén
AU  - G. V. Astakhov
PY  - 2022
DO  - 10.1038/s41467-022-35051-5
UR  - https://arxiv.org/abs/2204.13173
ID  - 2204.13173
ER  -