TY  - RPRT
TI  - Single G centers in silicon fabricated by co-implantation with carbon and proton
AU  - Yoann Baron
AU  - Alrik Durand
AU  - Tobias Herzig
AU  - Mario Khoury
AU  - Sébastien Pezzagna
AU  - Jan Meijer
AU  - Isabelle Robert-Philip
AU  - Marco Abbarchi
AU  - Jean-Michel Hartmann
AU  - Shay Reboh
AU  - Jean-Michel Gérard
AU  - Vincent Jacques
AU  - Guillaume Cassabois
AU  - Anaïs Dréau
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0097407
UR  - https://arxiv.org/abs/2204.13521
ID  - 2204.13521
ER  -