TY - RPRT TI - Atomic-scale Oxygen-mediated Etching of 2D MoS$_2$ and MoTe$_2$ AU - E. Harriet Ã…hlgren AU - Alexander Markevich AU - Sophie Scharinger AU - Bernhard Fickl AU - Georg Zagler AU - Felix Herterich AU - Niall McEvoy AU - Clemens Mangler AU - Jani Kotakoski PY - 2022 DO - 10.1002/admi.202200987 UR - https://arxiv.org/abs/2205.00855 ID - 2205.00855 ER -