TY  - RPRT
TI  - Titanium Nitride Film on Sapphire Substrate with Low Dielectric Loss for Superconducting Qubits
AU  - Hao Deng
AU  - Zhijun Song
AU  - Ran Gao
AU  - Tian Xia
AU  - Feng Bao
AU  - Xun Jiang
AU  - Hsiang-Sheng Ku
AU  - Zhisheng Li
AU  - Xizheng Ma
AU  - Jin Qin
AU  - Hantao Sun
AU  - Chengchun Tang
AU  - Tenghui Wang
AU  - Feng Wu
AU  - Wenlong Yu
AU  - Gengyan Zhang
AU  - Xiaohang Zhang
AU  - Jingwei Zhou
AU  - Xing Zhu
AU  - Yaoyun Shi
AU  - Hui-Hai Zhao
AU  - Chunqing Deng
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2205.03528
ID  - 2205.03528
ER  -