TY  - RPRT
TI  - Microsecond non-melt UV laser annealing for future 3D-stacked CMOS
AU  - Toshiyuki Tabata
AU  - Fabien Rozé
AU  - Louis Thuries
AU  - Sebastien Halty
AU  - Pierre-Edouard Raynal
AU  - Karim Huet
AU  - Fulvio Mazzamuto
AU  - Abhijeet Joshi
AU  - Bulent M. Basol
AU  - Pablo Acosta Alba
AU  - Sébastien Kerdilès
PY  - 2022
DO  - 10.35848/1882-0786/ac6e2a
UR  - https://arxiv.org/abs/2205.04669
ID  - 2205.04669
ER  -