TY  - RPRT
TI  - Fully automated spectroscopic ellipsometry analyses of crystalline-phase semiconductors based on a new algorithm
AU  - Sara Maeda
AU  - Kohei Oiwake
AU  - Yukinori Nishigaki
AU  - Tetsuhiko Miyadera
AU  - Masayuki Chikamatsu
AU  - Takayuki Nagai
AU  - Takuma Aizawa
AU  - Kota Hanzawa
AU  - Hidenori Hiramatsu
AU  - Hideo Hosono
AU  - Hiroyuki Fujiwara
PY  - 2022
UR  - https://arxiv.org/abs/2205.05833
ID  - 2205.05833
ER  -