TY  - RPRT
TI  - Electron power absorption in capacitively coupled neon-oxygen plasmas: a comparison of experimental and computational results
AU  - A. Derzsi
AU  - P. Hartmann
AU  - M. Vass
AU  - B. Horváth
AU  - M. Gyulai
AU  - I. Korolov
AU  - J. Schulze
AU  - Z. Donkó
PY  - 2022
DO  - 10.1088/1361-6595/ac7b45
UR  - https://arxiv.org/abs/2205.06443
ID  - 2205.06443
ER  -