TY  - RPRT
TI  - Mechanical dissipation by substrate-mode coupling in SiN resonators
AU  - Matthijs H. J. de Jong
AU  - Malte A. ten Wolde
AU  - Andrea Cupertino
AU  - Simon Gröblacher
AU  - Peter G. Steeneken
AU  - Richard A. Norte
PY  - 2022
DO  - 10.1063/5.0092894
UR  - https://arxiv.org/abs/2206.00990
ID  - 2206.00990
ER  -