TY  - RPRT
TI  - Ultrathin AlScN for low-voltage driven ferroelectric-based devices
AU  - Georg Schönweger
AU  - Md Redwanul Islam
AU  - Niklas Wolff
AU  - Adrian Petraru
AU  - Lorenz Kienle
AU  - Hermann Kohlstedt
AU  - Simon Fichtner
PY  - 2022
DO  - 10.1002/pssr.202200312
UR  - https://arxiv.org/abs/2207.01858
ID  - 2207.01858
ER  -