TY  - RPRT
TI  - Microcantilever-integrated photonic circuits for broadband laser beam scanning
AU  - Saeed Sharif Azadeh
AU  - Jason C. C. Mak
AU  - Hong Chen
AU  - Xianshu Luo
AU  - Fu-Der Chen
AU  - Hongyao Chua
AU  - Frank Weiss
AU  - Christopher Alexiev
AU  - Andrei Stalmashonak
AU  - Youngho Jung
AU  - John N. Straguzzi
AU  - Guo-Qiang Lo
AU  - Wesley D. Sacher
AU  - Joyce K. S. Poon
PY  - 2022
DO  - 10.1038/s41467-023-38260-8
UR  - https://arxiv.org/abs/2207.12374
ID  - 2207.12374
ER  -