TY - RPRT TI - Micro-machined deep silicon atomic vapor cells AU - S. Dyer AU - P. F. Griffin AU - A. S. Arnold AU - F. Mirando AU - D. P. Burt AU - E. Riis AU - J. P. McGilligan PY - 2022 DO - 10.1063/5.0114762 UR - https://arxiv.org/abs/2207.12904 ID - 2207.12904 ER -