TY - RPRT TI - Aluminum nitride waveguide beam splitters for integrated quantum photonic circuits AU - Hyeong-Soon Jang AU - Donghwa Lee AU - Hyungjun Heo AU - Yong-Su Kim AU - Hyang-Tag Lim AU - Seung-Woo Jeon AU - Sung Moon AU - Sangin Kim AU - Sang-Wook Han AU - Hojoong Jung PY - 2022 UR - https://arxiv.org/abs/2208.01377 ID - 2208.01377 ER -